近日，中國科學院長春應用化學研究所生態(tài)環(huán)境高分子材料重點實驗室季生象課題組應邀撰寫的綜述Directed self-assembly of block copolymers on chemical patterns: A platform for nanofabrication在 Progress in Polymer Science 上發(fā)表（Prog. Polym. Sci. 2016, 54–55, 76–127）。
該綜述對嵌段共聚物在化學圖案上引導組裝的原理、流程和技術手段，及其在半導體行業(yè)的應用進行了全面的總結和評述，并對嵌段共聚物引導組裝的未來發(fā)展前景進行了展望，便于讀者快速全面地了解該研究領域的發(fā)展狀況。
使用化學圖案(chemical pattern)引導組裝(directed self-assembly，DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離，可以獲得長程有序排列的納米結構。相對于光刻法得到的納米結構，引導組裝制備的納米結構具有相疇定位高度精準、線邊粗糙度小等優(yōu)點，并可以通過自我修復修正光刻法產(chǎn)生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題，是制造下一代芯片和存儲媒體的理想候選技術之一。
該課題組自2011年組建以來一直開展嵌段共聚物引導組裝方面的研究工作，通過分子設計合成新型嵌段共聚物，并研究其在化學圖案上的引導組裝行為，主要包括：1）高χ值嵌段共聚物的合成及其引導組裝；2）三嵌段共聚物的引導組裝；3）新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應邀在Chinese Journal of Polymer Science 上發(fā)表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification 的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678)。
課題組的相關工作獲得了中科院百人計劃、國家自然科學基金委和吉林省科技廳等項目的大力支持。
嵌段共聚物在化學圖案上的引導組裝流程
