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  • 一種激光熔絲結(jié)構(gòu)及其制造方法與流程技術(shù)資料下載

    技術(shù)編號:42300939

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    本發(fā)明涉及半導體,具體而言涉及一種激光熔絲結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù)、熔絲(fuse)為電子產(chǎn)品中的關(guān)鍵性零組件,其功能為掌管備用內(nèi)存(redundancymemory)切換,或用于射頻電路(rf)中,提供可調(diào)整的電阻與電容特性(rc?trimming),以及常見使用于安全碼(security?code)或電子卷標低字碼(low?bit?count),用于數(shù)據(jù)儲存。、傳統(tǒng)的激光熔絲主要有三種:以大電流燒斷的金屬熔絲(metal?fuse)和多晶硅熔絲(poly?fuse),或是以激光燒斷的金...
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