技術(shù)編號(hào)：42301068
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及成膜裝置以及成膜方法。背景技術(shù)、已知有對(duì)基板蒸鍍以蒸鍍物質(zhì)來進(jìn)行成膜的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)中公開了一邊使蒸鍍?cè)匆苿?dòng)一邊向基板放出蒸鍍物質(zhì)來進(jìn)行成膜的技術(shù)。有時(shí)通過一邊使蒸鍍?cè)匆苿?dòng)一邊成膜，能降低因蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)或個(gè)體差異所導(dǎo)致的不均，能提高基板上的膜厚分布的均勻性。、在先技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：日本特開－號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、發(fā)明所要解決的課題、在專利文獻(xiàn)的技術(shù)中，沒有用于判斷基板的當(dāng)前成膜狀態(tài)的信息，在成膜品質(zhì)的管理以及反映當(dāng)前成膜狀態(tài)的控制的方面...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。