本公開的領(lǐng)域涉及具有從支撐軸懸掛的反射器組合件的拉錠器設(shè)備，所述支撐軸在所述反射器組合件上方延伸。

背景技術(shù)：

1、單晶硅錠可通過所謂的丘克拉斯基(czochralski)工藝生長，其中硅種晶與硅的熔體接觸。從熔體抽提硅種晶，從而引起由種晶懸掛的單晶硅錠形成。硅種晶固定到連接到拉索的晶種卡盤。拉索支撐卡盤及種晶(以及晶體生長期間的錠)。拉索連接到提拉機(jī)構(gòu)，其降低及升高拉錠器設(shè)備內(nèi)的拉索。

2、在從熔體抽提單晶硅錠時，錠可經(jīng)過將熱重新引導(dǎo)回錠的反射器組合件。常規(guī)地，反射器組合件由豎直堆疊在熱區(qū)中的一系列石墨部件支撐。在固態(tài)多晶硅的熔化期間，石墨部件熱膨脹，這導(dǎo)致反射器組合件的不可預(yù)測的軸向位置。

3、需要一種拉錠器設(shè)備，其中反射器組合件可預(yù)測且可重復(fù)地位于拉錠器設(shè)備中同時維持用來支撐反射器組合件的組件的完整性及壽命。

4、本節(jié)意在向讀者介紹下文所描述及/或要求的可與本公開的各個方面相關(guān)的各個技術(shù)方面。本論述據(jù)信有助于向讀者提供背景信息以促進(jìn)更好地理解本公開的各個方面。因此，應(yīng)理解，這些陳述應(yīng)從這個角度進(jìn)行解讀，而非作為對現(xiàn)有技術(shù)的承認(rèn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開的一個方面涉及一種用于產(chǎn)生單晶硅錠的拉錠器設(shè)備。所述拉錠器設(shè)備包含用于固持硅熔體的坩堝組合件。拉晶器外殼界定用于從所述硅熔體提拉硅錠的生長室。所述坩堝組合件安置在所述生長室內(nèi)。反射器組合件具有用于在所述單晶硅錠被拉過所述反射器組合件時接納所述錠的開口。所述反射器組合件包含上凸緣及從所述上凸緣向下延伸的護(hù)罩。所述拉錠器設(shè)備包含用于支撐所述反射器組合件的兩個或更多個支撐軸。所述支撐軸從所述反射器組合件向上延伸。所述拉錠器設(shè)備包含兩個或更多個托梁。每一托梁朝向所述支撐軸的下端連接到所述支撐軸。每一托梁通過沿所述托梁的縱向軸線彼此分離的第一及第二接頭連接到所述凸緣。

2、本公開的另一方面涉及一種用于產(chǎn)生單晶硅錠的拉錠器設(shè)備。所述拉錠器設(shè)備包含用于固持硅熔體的坩堝組合件。拉晶器外殼界定用于從所述硅熔體提拉硅錠的生長室。所述坩堝組合件安置在所述生長室內(nèi)。所述拉錠器設(shè)備包含反射器組合件，所述反射器組合件具有用于在所述單晶硅錠被拉過所述反射器組合件時接納所述錠的開口。所述反射器組合件包含上凸緣及從所述上凸緣向下延伸的護(hù)罩。所述拉錠器設(shè)備包含用于支撐所述反射器組合件的第一及第二支撐軸。所述第一及第二支撐軸從所述反射器組合件向上延伸。所述拉錠器設(shè)備不包含多于兩個支撐軸。每一支撐軸在支撐軸端口處連接到所述拉晶器外殼。

3、本公開的又一方面涉及一種用于產(chǎn)生單晶硅錠的拉錠器設(shè)備。所述拉錠器設(shè)備包含用于固持硅熔體的坩堝組合件。拉晶器外殼界定用于從所述硅熔體提拉硅錠的生長室。所述坩堝組合件安置在所述生長室內(nèi)。反射器組合件具有用于在所述單晶硅錠被拉過所述反射器組合件時接納所述錠的開口。所述反射器組合件包含上凸緣及從所述上凸緣向下延伸的護(hù)罩。所述拉錠器設(shè)備包含用于支撐所述反射器組合件的第一及第二支撐軸。所述第一及第二支撐軸從所述反射器組合件向上延伸。每一支撐軸通過柔性接頭連接到所述上凸緣。

4、存在關(guān)于本公開的上述方面所述的特征的各種改進(jìn)。進(jìn)一步特征也可并入本公開的上述方面中。這些改進(jìn)及額外特征可個別地或以任何組合存在。例如，下文關(guān)于本公開的所說明實(shí)施例中的任何者的各種特征可獨(dú)自地或以任何組合并入到本公開的上述方面中的任何者中。

技術(shù)特征：

1.一種用于產(chǎn)生單晶硅錠的拉錠器設(shè)備，拉錠器設(shè)備包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉錠器設(shè)備，其中僅兩個支撐軸支撐所述反射器組合件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的拉錠器設(shè)備，其中在錠生長期間，所述反射器組合件未通過支撐軸之外的任何結(jié)構(gòu)支撐在所述拉錠器設(shè)備中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中所述第一及第二接頭各自是柔性接頭。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的拉錠器設(shè)備，其中每一柔性接頭是球窩接頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拉錠器設(shè)備，其中每一柔性接頭包括兩個球窩接頭。

7.根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中所述兩個或更多個支撐軸是水冷卻的，每一支撐軸包括用于將水添加到所述支撐軸的入口及用于從所述支撐軸移除水的外部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1到7中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其包括外氣體護(hù)罩，所述外氣體護(hù)罩鄰接所述凸緣的外圓周邊緣。

9.根據(jù)權(quán)利要求1到8中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中每一支撐軸在支撐軸端口處延伸穿過所述拉晶器外殼。

10.根據(jù)權(quán)利要求1到9中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其包括安置在所述凸緣下方以用于支撐所述反射器組合件的支撐帶。

11.根據(jù)權(quán)利要求1到10中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中所述護(hù)罩包含隔絕物及外罩蓋，所述隔絕物安置在所述外罩蓋內(nèi)。

12.一種用于產(chǎn)生單晶硅錠的拉錠器設(shè)備，拉錠器設(shè)備包括：

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的拉錠器設(shè)備，其中在錠生長期間，所述反射器組合件未通過除支撐軸之外的任何結(jié)構(gòu)支撐在所述拉錠器設(shè)備中。

14.根據(jù)權(quán)利要求12或權(quán)利要求13所述的拉錠器設(shè)備，其中所述支撐軸通過至少一個柔性接頭連接到所述上凸緣。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的拉錠器設(shè)備，其中所述柔性接頭是球窩接頭。

16.根據(jù)權(quán)利要求12到15中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其包括外氣體護(hù)罩且其中所述上凸緣包括支撐板，所述外氣體護(hù)罩鄰接所述支撐板的外圓周邊緣。

17.根據(jù)權(quán)利要求12到16中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中所述護(hù)罩包含隔絕物及外罩蓋，所述隔絕物安置在所述外罩蓋內(nèi)。

18.根據(jù)權(quán)利要求12到17中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中所述第一及第二支撐軸是水冷卻的，每一支撐軸包括用于將水添加到所述支撐軸的入口及用于從所述支撐軸移除水的外部。

19.根據(jù)權(quán)利要求12到18中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其包括安置在所述凸緣下方以用于支撐所述反射器組合件的支撐帶。

20.一種用于產(chǎn)生單晶硅錠的拉錠器設(shè)備，所述拉錠器設(shè)備包括：

21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的拉錠器設(shè)備，其中所述柔性接頭是球窩接頭。

22.根據(jù)權(quán)利要求20或權(quán)利要求21所述的拉錠器設(shè)備，其中在錠生長期間，所述反射器組合件未通過除支撐軸之外的任何結(jié)構(gòu)支撐在所述拉錠器設(shè)備中。

23.根據(jù)權(quán)利要求20到22中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其包括外氣體護(hù)罩且其中所述上凸緣包括支撐板，所述外氣體護(hù)罩鄰接所述支撐板的外圓周邊緣。

24.根據(jù)權(quán)利要求20到23中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中所述護(hù)罩包含隔絕物及外罩蓋，所述隔絕物安置在所述外罩蓋內(nèi)。

25.根據(jù)權(quán)利要求20到24中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其中所述第一及第二支撐軸是水冷卻的，每一支撐軸包括用于將水添加到所述支撐軸的入口及用于從所述支撐軸移除水的外部。

26.根據(jù)權(quán)利要求20到25中任一權(quán)利要求所述的拉錠器設(shè)備，其包括安置在所述凸緣下方以用于支撐所述反射器組合件的支撐帶。

技術(shù)總結(jié)
公開具有從支撐軸懸掛的反射器組合件的拉錠器設(shè)備。每一支撐軸可連接到托梁。所述托梁通過沿所述托梁的縱向軸線彼此分離的兩個柔性接頭連接到所述反射器組合件的凸緣。

技術(shù)研發(fā)人員：B·M·邁耶,卡瑞喜瑪·瑪莉·哈德森,J·柳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：環(huán)球晶圓股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/6/26