盛放石英坩堝用的碳碳坩堝的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種坩堝,特別是涉及一種盛放石英坩堝用的碳碳坩堝,包括石墨底座、碳碳坩堝和上蓋,碳碳坩堝放在底座上,上蓋與碳碳坩堝扣合,碳碳坩堝為左右兩瓣式結(jié)構(gòu),碳碳坩堝的下端為底口卡槽,底座包括底口和底托,底托上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中,底口上端嵌入底口卡槽,底口與碳碳坩堝組合成一體式坩堝形狀。本實用新型采用了碳碳材料的坩堝壁,節(jié)省了石墨的用量,兩瓣式結(jié)構(gòu)可拆卸,方便石英坩堝的取出,且底座分成兩部分,減少了石墨底座的破壞范圍,底托破損幾率低,石墨利用率高,極大的節(jié)省了單晶硅生產(chǎn)的成本。
【專利說明】
盛放石英坩堝用的碳碳坩堝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種坩禍,特別是涉及一種盛放石英坩禍用法碳碳坩禍。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅是半導(dǎo)體和太陽能電池的關(guān)鍵材料,石英坩禍的用途是拉硅單晶用的,目前盛放石英坩禍的一般用石墨坩禍,石墨坩禍具有良好的熱導(dǎo)性和耐高溫性,在高溫使用過程中,熱膨脹系數(shù)小,對急熱急冷具有一定的應(yīng)變性,對酸堿性溶液的抗腐蝕性較強,具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。但是石英坩禍在高溫狀態(tài)下會軟化,由于軟化石英坩禍在拆卸時會與石墨坩禍粘連,不好拆卸,嚴重時得破壞石墨坩禍,造成不必要的浪費。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是提供方便拆卸的承托坩禍結(jié)構(gòu),減少石墨用量,降低成本,具體是一種兩瓣式結(jié)構(gòu)的碳碳坩禍,底座也分為兩部分。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型所采取的技術(shù)手段是:
[0005]盛放石英坩禍用的碳碳坩禍,包括石墨底座和碳碳坩禍,碳碳坩禍放在底座上,還包括上蓋,上蓋與碳碳樹禍扣合,碳碳樹禍為左右兩瓣式結(jié)構(gòu),碳碳i甘禍的下端為底口卡槽,底座包括底口和底托,底托上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中,底口上端嵌入底口卡槽,底口與碳碳坩禍組合成一體式坩禍形狀。
[0006]所述的底口下端與底座連接處是中空的,空隙高度為5_。
[0007]所述的底托上部兩端與碳碳坩禍連接處留有l(wèi)_3mm的間隙。
[0008]所述的上蓋與碳碳坩禍的接合處為凹凸結(jié)構(gòu),上蓋的外側(cè)為凸臺,凸臺的高度為10-20mmo
[0009]本實用新型的有益效果是:坩禍壁采用碳碳材料,減少了石墨的用量,設(shè)計成兩瓣式結(jié)構(gòu),方便拆卸,蓋上上蓋后避免了石英坩禍放入后,碳碳坩禍向兩邊傾斜。底座分成底口與底托兩部分,可以更好的拆卸石英坩禍,底口與底托結(jié)合處留有間隙,即使石英坩禍與石墨底口粘連在一起需要破壞取出石英坩禍時,也只需破壞石墨底口,這樣節(jié)省了石墨的用量,最大限度的降低了單晶硅的生產(chǎn)成本,而且如果沒有留下這個間隙,那么底口與底座應(yīng)該是一個圓面整體的接觸,這樣如果接觸時間一長,底口或者底托出現(xiàn)氧化物突出或者形變,就會導(dǎo)致接觸面不平整,底口放置不平,留有的間隙把面接觸改為了線接觸,防止了以上現(xiàn)象的發(fā)生。底托與坩禍壁結(jié)合處的兩端留有1-3_的間隙,避免二者受熱膨脹產(chǎn)生相互的擠壓作用力。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中,1、上蓋,2、碳碳坩禍,3、底口,4、底托。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步說明。
[0013]具體實施例,如圖1所示,盛放石英坩禍用的碳碳坩禍,包括石墨底座和碳碳坩禍2,碳碳i甘禍2放在底座上,還包括上蓋I,上蓋I與碳碳i甘禍2扣合,碳碳i甘禍2為左右兩瓣式結(jié)構(gòu),碳碳坩禍2的下端為底口卡槽,底座包括底口 3和底托4,底托4上端有梯形凹槽,底口的下端嵌入底托4的梯形凹槽中,底口 3上端嵌入底口卡槽,底口 3與碳碳i甘禍2組合成一體式坩禍形狀。
[0014]所述的底口3下端與底托4連接處是中空的,空隙高度為5_,可以更好的拆卸石英坩禍,底口 3與底托4結(jié)合處留有間隙,即使石英坩禍與石墨底口 3粘連在一起需要破壞取出石英坩禍時,也只需破壞石墨底口 3,這樣節(jié)省了石墨的用量,最大限度的降低了單晶硅的生產(chǎn)成本,而且如果沒有留下這個間隙,那么底口3與底托4應(yīng)該是一個圓面整體的接觸,這樣如果接觸時間一長,底口 3或者底托4出現(xiàn)氧化物突出或者形變,就會導(dǎo)致接觸面不平整,底口 3放置不平,留有的間隙把面接觸改為了線接觸,防止了以上現(xiàn)象的發(fā)生。底托4與碳碳坩禍壁結(jié)合處的兩端留有1-3_的間隙,避免二者受熱膨脹產(chǎn)生相互的擠壓作用力。
[0015]所述的上蓋I與碳碳坩禍2的接合處為凹凸結(jié)構(gòu),上蓋I的外側(cè)為凸臺,凸臺的高度為10-20mm,保證與碳碳坩禍2結(jié)合順暢緊密,不會因太短而開裂。
[0016]本實用新型在使用時先將底托4和底口3放置好,然后將兩瓣碳碳坩禍壁放在底座上拼接好,將石英坩禍放入碳碳坩禍后,加上上蓋,避免碳碳坩禍發(fā)生傾斜。當(dāng)要取出石英坩禍時,只需拿掉上蓋,分開兩瓣式結(jié)構(gòu)坩禍壁,石英坩禍就留在了底座上,這樣方便拆卸,省時省力,使用方法簡潔。
【主權(quán)項】
1.盛放石英坩禍用的碳碳坩禍,包括石墨底座和碳碳坩禍(2),碳碳坩禍(2)放在底座上,其特征在于:還包括上蓋(I),上蓋(I)與碳碳坩禍(2)扣合,碳碳坩禍(2)為左右兩瓣式結(jié)構(gòu),碳碳坩禍(2)的下端為底口卡槽,底座包括底口(3)和底托(4),底托(4)上端有梯形凹槽,底口(3)的下端嵌入底托(4)的梯形凹槽中,底口(3)上端嵌入底口卡槽,底口(3)與碳碳坩禍(2)組合成一體式坩禍形狀。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盛放石英坩禍用的碳碳坩禍,其特征在于:所述的底口(3)下端與底座(4)連接處是中空的,空隙高度為5_。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盛放石英坩禍用的碳碳坩禍,其特征在于:所述的底托(4)上部兩端與碳碳坩禍(2)連接處留有l(wèi)_3mm的間隙。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盛放石英坩禍用的碳碳坩禍,其特征在于:所述的上蓋(I)與碳碳坩禍(2)的接合處為凹凸結(jié)構(gòu),上蓋(I)的外側(cè)為凸臺,凸臺的高度為10-20mm。
【文檔編號】C30B29/06GK205590834SQ201620345812
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年4月22日
【發(fā)明人】趙會剛, 李德建, 張曉朋, 李朝陽
【申請人】河北寧通電子材料有限公司